博士生导师
硕士生导师
个人信息Personal Information
学历：博士研究生毕业
学位：工学博士学位
办公地点：西南交通大学摩擦学研究所410-1
毕业院校：Southwest Jiaotong University
所在单位：机械工程学院
报考该导师研究生的方式
欢迎你报考陈磊老师的研究生，报考有以下方式：
1、参加西南交通大学暑期夏令营活动，提交导师意向时，选择陈磊老师，你的所有申请信息将发送给陈磊老师，老师看到后将和你取得联系，点击此处参加夏令营活动
2、如果你能获得所在学校的推免生资格，欢迎通过推免方式申请陈磊老师研究生，可以通过系统的推免生预报名系统提交申请，并选择意向导师为陈磊老师，老师看到信息后将和你取得联系，点击此处推免生预报名
3、参加全国硕士研究生统一招生考试报考陈磊老师招收的专业和方向，进入复试后提交导师意向时选择陈磊老师。
4、如果你有兴趣攻读陈磊老师博士研究生，可以通过申请考核或者统一招考等方式报考该导师博士研究生。
1、超精密表面加工机理研究
(1) 新一代硅通孔三维互连技术为半导体芯片工艺突破5纳米线宽物理极限的限制提供了全新的途径。多针对大规模集成电路中硅通孔三维互连技术对异质材料表面超精密表面的需求，开展多晶硅、单晶硅、非晶硅等异质材料的亚纳米级可控去除机理研究。
超精密表面抛光 抛光晶圆 集成电路多晶硅硅通孔及其表面一致抛光
(2) 氟化钙晶体基于其高透光率和高抗激光损伤阈值等优异的光学性能，已成为目前极紫外光刻物镜系统中不可替代的透镜材料。针对IC关键制造装备——极紫外光刻系统对核心零部件物镜系统对表面精度和质量的苛刻要求，开展氟化钙物镜材料的各向异性去除机理研究。
极紫外光刻系统核心物镜系统对超精密非球表面加工的需求
2、二维材料微纳结构制造
半导体芯片的特征线宽以摩尔定律持续减小，现硅基 IC 技术已趋近其物理极限，因此寻找硅的替代材料并发展新的柔性纳米电子器件成为当前科学界和半导体产业界面临的当务之急。以石墨烯、二硫化钼等为代表的二维（2D）材料已在柔性屏幕、传感器和微纳电子等方面体现出巨大的应用前景。扫描探针加工技术由于精度高、成本低、加工过程无化学污染、可实时在线原位精准测量等特点受到学术界和产业界越来越多的关注。因此，针对扫描探针技术在纳米结构和纳米器件的制造中具有广阔的应用前景，开展基于扫描探针技术的二维材料纳米加工机理及应用研究。
2D材料应用 石墨烯1 nm晶体管 二硫化钼集成电路