王楠

副教授

硕士生导师

学历:博士研究生毕业

学位:工学博士学位

办公地点:犀浦校区3教30369

毕业院校:中国科学院大学

所在单位:物理科学与技术学院

研究方向

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半导体光学

光刻设备、晶元检测、精密测量