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多模态智能传感器：智能响应超结构/微纳功能序构
采用先进的集成微纳制造工艺技术，精确调控功能序构的化学成分、大小、形状、排列方式、内部/表面结构、表/界面官能团等参量，使所制造的元器件对光、电、声、磁、机械、力、热、化学等远程刺激或局部环境变化实现超灵敏的感知，进而设计并制造出智能响应的超结构和超材料，为我国多模态智能传感元器件的自主可控研发提供理论支撑和技术参考。