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先进微纳制造工艺及装备研发
围绕“自下而上”与“自上而下”融合的制造范式，系统发展高精度、高效率、可扩展的微纳结构创成方法。重点突破纳米结构自组装、集成化纳米压印、胶体光刻辅助图案化，以及面向功能器件的微纳尺度3D/4D打印等核心技术。在此基础上，研发与之匹配的智能化制造装备，融合原位监测与闭环调控能力，推动微纳制造从“实验室工艺”向“工程化平台”跨越，为我国高性能元器件的研发提供制造基础支撑。