聚焦微纳制造前沿领域的关键核心技术和基础共性技术开展系统性的研究工作，提出先进的制造理论，开发引领性的微纳制造工艺和配套的智能装备。主要聚焦于以下四个方向：

1、纳米结构自组装技术

纳米结构材料的类型：金属纳米材料、聚合物纳米材料、介电纳米材料、半导体纳米材料；

纳米结构材料的形状：球状、线状、棒状、盘状、方块状、多面体等。

2、集成纳米压印技术（热纳米压印/紫外纳米压印）

3、胶体光刻技术

4、微纳结构3D/4D打印技术

其他相关技术：等离子刻蚀、反应离子束刻蚀、湿法化学刻蚀、光学光刻等。