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Research Focus
原子层刻蚀（ALE）机理与方法
面向集成电路、传感芯片等元器件的微纳功能结构开展原子层刻蚀机理与方法研究，为我国高端芯片制造、航空航天、核能工程、超精密仪器和量子科技等国家战略发展提供技术支撑，助力新一轮科技革命和产业变革。
Hongbo Wang
Lecturer (higher education)
Gender:Male
Education Level:PhD graduate
Alma Mater:西南交通大学
Main positions:智能制造与装备系主任助理
Other Post:智慧城市与交通学院本科教学秘书
Degree:Doctor of engineering
Status:在岗
School/Department:城市轨道交通学院（智慧城市与交通学院）
Business Address:西南交通大学犀浦校区3号教学楼31608，智慧城市与交通学院