博士生导师 硕士生导师
学历：博士研究生毕业
学位：工学博士学位
主要任职：硕士生导师/博士生导师
毕业院校：清华大学
所在单位：材料科学与工程学院
第二代、第三代半导体材料超精密磨削与抛光的理论、实验和仿真
