个人信息Personal Information
学历:博士研究生毕业
学位:工学博士学位
办公地点:西南交通大学犀浦校区电气馆 836室
在职信息:在岗
毕业院校:哈尔滨工业大学
所在单位:电气工程学院
临寒倒春风吹雨,三伏无夏雨落花。
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多自由度精密装调系统研究
光学精密偶件(具有严格相对位姿关系的棱镜、平面镜、光纤等光学器件)在现代高端装备中扮演着重要角色,高精度自动装调光学系统更是半导体制造、新型显示、深空探测、生物医学等领域迫切需要的支撑技术。上述领域复杂的应用环境对光学精密偶件的姿态调整与保持提出了更严苛的要求,例如:大口径薄膜相机子镜拼接要求在毫米级运动范围内实现亚微米级精度定位;极紫外光刻物镜中的镜片需要实现多自由度的超精密位姿调整,其直线和旋转精度要求分别为纳米级和微弧级;深空探测中继镜技术需要多自由度的精密传动装置用于实现光束的指向控制,其对传动精度、动态响应的要求分别在微弧度和百赫兹级。可见,光学精密偶件的微纳装调技术已成为制约核心器件稳定、可靠、高效生产和应用的瓶颈技术,合理构建和应用高精度自动化装备是解决上述问题最有效的技术途径之一。
为满足光学精密偶件的高效和高精度装调需求,精密驱动的柔顺并联机构需要在更大的范围内提供超高的精度和速度,并且具有“断电自锁”功能。开展面向光学精密偶件的复合驱动型柔顺并联快速装调系统研究符合当前高端装备高精度、高效率的发展趋势。该领域的研究将极大提高光学精密偶件装调过程的精度和效率,为新型光学装调系统的设计提供理论和技术基础。