个人信息Personal Information
学历:博士研究生毕业
学位:工学博士学位
办公地点:西南交通大学犀浦校区电气馆 836室
在职信息:在岗
毕业院校:哈尔滨工业大学
所在单位:电气工程学院
临寒倒春风吹雨,三伏无夏雨落花。
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精密驱动系统控制技术研究
具有全性能的精密驱动系统是精密工程领域长期追求的目标之一,在半导体制造、自动光学设备、新型显示制造等领域具有迫切需求。所谓全性能指的是驱动装置同时具备大行程、高精度、高速度、高负载等运动性能。传统的步进电机结合细分驱动技术可以实现亚微米运动分辨率,然而运动速度和有效推力有限,难以胜任高速、高加速运动任务;直线电机为代表的电磁直驱技术具有大推力和高速运动特点,但是严重的磁场非线性和复杂的换流技术增加了高精度运动的控制难度;压电电机利用压电陶瓷的微步运动可实现纳米级运动分辨率和高稳定运动输出,然而步进运动模式导致严重的“齿痕”效应,无法实现光滑的扫描轨迹运动,此外摩擦驱动力极小,其运动速度和加速度甚至不如步进电机。可见,传统的精密驱动方法具备各自优点,同时也在某一方面或几方面存在不足。
本人常年深耕精密驱动技术的研究,对压电直驱、压电马达、电磁直驱、复合驱动等方面有深入研究,先后提出了“电磁-摩擦”复合驱动方法、多模式压电马达控制方法等。成果被成功应用在光学装调、显微操作机器人等领域。